光切法是指應(yīng)用“光切原理”來測量表面粗糙度的一種方法

　　光切法是指應(yīng)用“光切原理”來測量表面粗糙度的一種方法。

　　根據(jù)光切原理制成的光學(xué)量儀稱為光切顯微鏡，又稱雙管顯微鏡。這種儀器的工作原理如圖10-61所示。由光源1發(fā)出的光線通過聚光鏡2照到狹縫3上，形成一條扁平的光帶通過物鏡4以45"的傾角照射到被測表面上。由于被測表面存在微觀不平的峰谷，因此，在與表面成45°傾角的觀測管（物鏡5、目鏡6和分劃板組成）中可以看到從被測表面反射所形成的彎曲亮帶。光帶在表面峰頂a點和谷底b點反射，經(jīng)放大后兩點各自成像于a'點和b'點處。若a'、b'兩點之間的距離為N，觀測管的放大倍數(shù)為V，則被測表面在該處的微觀不平度高度h的數(shù)值為：h=（N/v）cos45'=√2N/2v。

　　在儀器上測量表面粗糙度時，應(yīng)先將被測零件揩拭干凈后放置在工作臺7上，被測表面的加工紋理方向應(yīng)調(diào)到與狹縫相互垂直。然后進行粗、微調(diào)焦，當在目鏡的視場中看到最清晰的輪廓亮帶時，調(diào)焦才算完畢，即可進行測量。

　　光切顯微鏡用來測量表面粗糙度的R，或R，參數(shù)。測量時，表面微觀不平度的高度是用測微目鏡上的百分尺和目鏡中的十字線進行的，如圖10-63所示。測最參數(shù)R.時，在規(guī)定的取樣長度內(nèi)，調(diào)整十字線與亮帶平行，旋轉(zhuǎn)百分尺使十字線與亮帶較清晰一側(cè)的某一最大輪廓峰頂相切（見圖10-630），此時從百分尺上讀得一個數(shù)值，然后又使十字線與亮帶同一側(cè)的某一最深谷底相切（見圖10-636），從百分尺上讀得另一個數(shù)值。百分尺上兩個讀數(shù)之差來以目鏡百分尺的分度值，即為測得的輪廓最大高度（R，）值。應(yīng)當注意，目鏡百分尺的分度值是與所用物鏡的收大倍數(shù)有關(guān)，并預(yù)先用標準刻度尺來確定。

　　參數(shù)Ra的測成與上述方法相同，在規(guī)定的取樣長度內(nèi)，先決定基準線，按上述步驟分別測出5個輪廓峰頂讀數(shù)和5個輪廓谷底讀數(shù)，并根據(jù)微觀不平度十點高度（R.）的定義計算式算出數(shù)值，此計算值與目鏡百分尺分度值的乘積，即是所求的Ra值。

　　光切顯微鏡能夠測量R.12.5~0.2的表面袒德度，參數(shù)值的測量范圍為0.8~80歲米。該儀器除對金屬表面進行測量外，也可用來觀洲紙張、塑料、油漆、電鍍層及其它表面的微觀不平度。在用印模法檢測表面祖糙度時，可用光切顯微鏡測量印模的表面粗糙莊。