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    技術支持

    日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識

    更新時間:2020-05-11   點擊次數:4131次

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    JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補償濾波器的特征
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    接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

    三豐粗糙度儀測量原理示意圖:

    測針形狀
    理想的測針形狀是圓錐型,為球形
    半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
    圓錐角度:60º, 90º
    在理想表面粗糙度測量中,除特別規定以外,每個圓
    錐角的角度都是 60º

    靜態測量力
    測針平均位置的測力:0.75mN
    測力的標稱變化率:0N/m
    標準特性值:測針平均值的靜態測力

    測針曲率
    標稱半徑μm
    測針在平均位置
    的靜態測量力
    mN
    靜態測量力變化的
    公差率
    mN /μm
    20.750.035
    50.75 (4.0)注10.2
    10

    注1 對于特殊結構探測器 (包括一個可更換測頭),在平均位置靜態測量力的大值為 4.0mN。

    截止波長值與測針半徑之間的關系
    如下表所列,測針半徑rtip 的標準值與對應于截止波長
    標準值的粗糙度截止波長比率之間的關系

    λc
    (mm)
    λs
    (μm)
    λc/λs大rtip
    (μm)
    大取樣間隔
    (μm)
    0.082.53020.5
    0.252.510020.5
    0.82.53002注10.5
    2.583005注21.5
    82530010注25

    注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通??梢允褂胷tip=5μm的測針,
    在測量結果中沒有明顯差別。
    注2: 當截止波長λs為2.5μm或8μm時,與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機械濾波所產生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會影響到測量中參數的計算。如果需要特殊的截止波長比率,須。

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